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卡套连接教程备好所需零部件：两个扳手、前后卡套、螺母、与MFC接口配套的不锈钢管。（此教程以Φ6为例）  分清MFC的进出气方向，底座右侧箭头所示方向为气体流向  如下图所示，分别将螺母、后卡套、前卡套装在不锈钢管上与MFC进气口配合  用手拧紧螺母 
如下图所示双扳手操作，旋转1.25 圈拧紧。注意事项：使用双扳手操作,用一只扳手卡住接头不动,用另一只扳手旋转螺母。
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卡套连接教程备好所需零部件：两个扳手、前后卡套、螺母、与MFC接口配套的不锈钢管。（此教程以Φ6为例） 分清MFC的进出气方向，底座右侧箭头所示方向为气体流向 如下图所示，分别将螺母、后卡套、前卡套装在不锈钢管上与MFC进气口配合 用手拧紧螺母
如下图所示双扳手操作，旋转1.25 圈拧紧。注意事项：使用双扳手操作,用一只扳手卡住接头不动,用另一只扳手旋转螺母。
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