什么是质量流量计?什么是质量流量控制器?

大家可能会经常看到,有些地方说质量流量计,有些地方说质量流量控制器。其实,这是有区别的。
质量流量计,即Mass Flow Meter(MFM ), 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
   质量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC ),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
   简单来说,质量流量计只测量不控制。而质量流量控制器,则带有控制阀门,既可以测量也可以控制气体流量大小。


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